项目完成单位通过分析和摸索在线激光刻痕技术的特点和难点,自主集成连续退火线上全套激光刻痕装备。全球首次将光纤式激光器应用于取向硅钢激光刻痕,利用不同波长对不同性质材料吸收率差异的机理,将基板热吸收效应提升5倍,实现更好的磁畴细化效果、提高改善率。设计出扩展式多振镜扫描盒光路系统,采用分时并行扫描技术实现全球最高的150mpm激光刻痕速度。通过关键参数交互联动设计以及采用大包角三辊聚焦稳定系统等,实现更精准的参数匹配和控制。
作者:wys@csm.org.cn
发表时间: 2019-03-05 11:21:27
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